低溫等離子體技術是通過氣體放電所產生的高活性粒子與污染物分子發生碰撞，使其解離和氧化，從而達到廢氣凈化的目的。由于不同種類的化合物被解離和氧化所需要的能量不同，低溫等離子體技術對于不同種類的有機物和惡臭污染物的凈化效果存在差異，當處理有機廢氣濃度較高時，低溫等離子體一般不宜作為獨立的處理單元應用，需與其他處理單元聯合使用，通常作為二級凈化單元方能取得較好的處理效果。

　　等離子凈化設備原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有*潛在優勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。

　　先利于*高磁對流對有機廢或無機廢氣進行快速列解分裂打短，再利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。后通過臭氧發生器制造足夠的氧離子對廢氣進行氧化，達到讓廢氣生成二氧化碳和水的效果。